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本发明提供一种数据处理方法、数据处理装置以及传感器组件。所述数据处理方法包括：将预定频率的导频方波信号调制到MEMS传感器的谐振频率上，以形成调制导频信号；对所述MEMS传感器输出的传感信号进行解调得到多个导频点的频率响应；利用多个导频点的...
该专利属于美新半导体（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过美新半导体（无锡）有限公司授权不得商用。

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