下载面板蚀刻制程设备的技术资料

文档序号:40870643

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本发明涉及半导体封装结构蚀刻制程技术领域,且公开了面板蚀刻制程设备,包括电机、旋转磁场机构,所述旋转磁场机构包括转动轴、带轮、皮带、磁力支架和磁石,所述电机的上侧传动连接有转动轴,所述转动轴的上侧固定连接有带轮,所述带轮的外侧传动连接有皮带...
该专利属于苏州成汉芯业科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州成汉芯业科技有限公司授权不得商用。

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