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本申请涉及气相沉积装置的技术领域，改善了沉积炉内不同位置产品的沉积密度具有差异的问题，公开了一种制动盘沉积装置，包括炉体，炉体具有相对设置的进气口和出气口，炉体内沿其气流方向间隔设置有若干料盘，料盘上阵列开设有若干通孔，料盘上间隔设置有多个...
该专利属于江油天力新陶碳碳材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江油天力新陶碳碳材料科技有限公司授权不得商用。

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