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本技术提供了一种锁定室及离子注入系统，包括隔离部，所述锁定室内设所述隔离部，以将所述锁定室的内腔分隔为相分离的第一腔室和第二腔室，其中，所述第一腔室被设置为能够放置N个晶圆，所述第二腔室被设置为能够放置M个挡片，N和M均为正整数；本技术中通...
该专利属于芯恩（青岛）集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩（青岛）集成电路有限公司授权不得商用。

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