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本发明涉及温度测量技术领域，具体说是一种应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置。它的特点是包括短圆筒状的壳体，壳体的口部固定有盖板，壳体内腔的底部设置有不少于两个同心环，同心环均与壳体间呈同心设置，同心环与壳体底部间均呈周向转动、轴向固定状配合，同...
该专利属于无锡芯汉电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡芯汉电子科技有限公司授权不得商用。

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