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本发明公开了一种高精度位移驱动台，本发明涉及精密检测仪器技术领域；该高精度位移驱动台采用两个PZT压电陶瓷电机或音圈电机驱动机构作为位移输出机构，通过连接机构把位移输出给调节对象，再利用位置传感器测量调节对象的实际位移，并把实际位移值反馈给...
该专利属于无锡埃瑞微半导体设备有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡埃瑞微半导体设备有限责任公司授权不得商用。

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