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本发明提供了一种螺杆式工艺气体压缩机及其内排气工艺，内排气工艺主要包括如下步骤：开机前通电、开启废气出口、开启氮气进口、通氮排废气、关闭氮气进口、开启工艺气体进口、检测废气出口的气体浓度、关闭废气出口、开启出气口，关机前通过氮气置换工艺气体...
该专利属于辛麦恩科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过辛麦恩科技股份有限公司授权不得商用。

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