下载一种半导体产线拆盘设备的技术资料

文档序号:40840605

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本发明公开了一种半导体产线拆盘设备,其技术方案要点是包括传输机构,所述传输机构用于对承载盘进行传输;顶升机构,所述顶升机构用于带动传输机构上的承载盘进行上下移动;分盘机构,所述分盘机构设置有两组且分别位于传输机构两侧,分盘机构包括分盘板,所...
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