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提供一种氧化镓系的半导体基板、具备该半导体基板和外延膜的半导体晶片、以及半导体晶片的制造方法，该半导体基板能够通过HVPE法形成膜厚分布及施主浓度分布小并且晶体缺陷的密度小的氧化镓系的外延膜。作为一个实施方式，提供一种半导体基板(10)，其...
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