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本发明公开了一种光学检测设备和光学检测方法。光学检测设备包括光源、光学系统和探测器：光源用于发出探测光束；光学系统用于将探测光束传输至待测物体，探测光束经待测物体形成检测光束，光学系统还用于接收检测光束，光学系统包括视场调整组件，检测光束经...
该专利属于上海御微半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海御微半导体技术有限公司授权不得商用。

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