下载一种图案化石墨烯及其制备方法的技术资料

文档序号:40836232

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本申请实施例提供一种图案化石墨烯及其制备方法,所述方法包括:S10、提供镍基石墨烯;S20、在石墨烯薄膜的表面涂覆光刻胶,并对光刻胶进行曝光、显影;S30、采用等离子体刻蚀工艺,在石墨烯薄膜上形成所需图案,得到位于镍生长基底上的图案化石墨烯...
该专利属于山西大学所有,仅供学习研究参考,未经过山西大学授权不得商用。

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