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本发明公开了一种气体传感器及其加工方法，属于气体传感器技术领域，加工方法包括：在硅衬底上依次形成氧化层、氮化物层、加热电极和绝缘层；去除第一预设区域内的氮化物层和绝缘层，由剩余的氮化物层分别形成氮化物岛层和氮化物支撑层，由剩余的绝缘层分别形...
该专利属于南京邮电大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京邮电大学授权不得商用。

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