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本发明公开了一种燃烧水洗式单腔废气处理设备，包括：废气燃烧系统，所述废气燃烧系统用于燃烧废气；内部冷却吸附系统，所述内部冷却吸附系统与废气燃烧系统连接，直接冷却废气燃烧系统；工艺冷却水系统，所述工艺冷却水系统通过热量交换实现对废气燃烧系统的...
该专利属于浙江亚笙半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江亚笙半导体设备有限公司授权不得商用。

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