下载磁阻元件、磁传感装置及其制备方法的技术资料

文档序号:40833348

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本发明属于磁传感装置技术领域,公开一种磁阻元件、磁传感装置及其制备方法。磁阻元件包括感测层、参考层及隧穿层;感测层具有闭合涡旋磁化图案,用于在预设磁场范围内响应于外部磁场输出线性变化的第一信号;参考层具有闭合涡旋磁化图案,用于在预设磁场范围...
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