下载三维半导体器件及所述三维半导体器件的制造方法的技术资料

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一种三维半导体器件,包括:在衬底上的第一有源区域,该第一有源区域包括下沟道图案和连接到下沟道图案的下源/漏图案;第二有源区域,堆叠在第一有源区域上,该第二有源区域包括上沟道图案和连接到上沟道图案的上源/漏图案;栅电极,在下沟道图案和上沟道图...
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