下载一种在线清理唇砖析晶晶体的方法及装置的技术资料

文档序号:40832066

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本申请提供一种在线清理唇砖析晶晶体的方法及装置,所述方法包括先控制清理工具通过一侧的清理窗口进入流道内部,清理工具往复多次刮取所述流道唇砖侧壁上的晶体;当判断流道唇砖侧壁上没有晶体时,控制清理工具移出所述清理窗口,并封闭清理窗口,进行保温;...
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