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本发明涉及晶圆清洗技术领域，具体涉及一种冲洗晶圆清洗腔内部管路的结构及方法，冲洗晶圆清洗腔内部管路的结构，包括：热水供给源；第三三通阀连接于热水供给源和第一阀门之间，且第三三通阀与化学清洗液输送系统靠近输送化学清洗液末端的管路连接；第一阀门...
该专利属于北京晶亦精微科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京晶亦精微科技股份有限公司授权不得商用。

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