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本发明涉及一种用于ESD保护的低容低钳位纵向SCR器件，包括N型硅衬底，N型硅衬底的正面形成有P型外延层，背面形成有背面金属层，在其内部还设有深槽金属连接孔；深槽金属连接孔内均填充有金属铝，且其一端与背面金属层相接，另一端深入P型外延层内，...
该专利属于西安迈驰半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安迈驰半导体科技有限公司授权不得商用。

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