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本申请提供一种厚胶正性光刻胶、光刻胶层及其制备方法，涉及光刻机技术领域。本申请的厚胶正性光刻胶，按质量份数计，包括：30份‑70份的酚醛树脂、20份‑40份的含硅共聚物成膜树脂、10份‑20份的光敏化合物、0.01份‑1份的流平剂和80份‑...
该专利属于阜阳欣奕华材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过阜阳欣奕华材料科技有限公司授权不得商用。

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