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本申请提供一种用于半导体制造的洁净室及半导体制造工厂，所述洁净室包括：若干第一生产设备，所述若干第一生产设备的出入端口在地面的投影位于一条直线上；隔离墙，包围所述若干第一生产设备，其中，所述若干第一生产设备的出入端口暴露于所述隔离墙外。本申...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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