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一种测量高阻金刚石欧姆接触比接触电阻的方法技术
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文档序号:40819950
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一种测量高阻金刚石欧姆接触比接触电阻的方法,本发明的目的在于解决高阻半导体尤其是氧终端本征金刚石难以使用TLM测试比接触电阻的问题。测量高阻金刚石欧姆接触比接触电阻的方法:一、取制备好欧姆接触TLM电极图案的氧终端本征金刚石作为金刚石样品;...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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