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本发明涉及设备管理技术领域，公开了一种加工设备健康监测方法、装置、电子设备和存储介质。关于方法，采集加工设备中关键部件的工艺数据；构建设备物理模型，建立所述设备物理模型与所述工艺数据之间的映射；定义所述加工设备正常工作时各项所述工艺数据的标...
该专利属于上海轩田工业设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海轩田工业设备有限公司授权不得商用。

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