专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
浙江晶盛机电股份有限公司
>
一种热隔断装置及原子层沉积设备制造方法及图纸
>技术资料下载
下载一种热隔断装置及原子层沉积设备的技术资料
文档序号:40812276
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本申请实施例的一方面提供了一种热隔断装置,该热隔断装置用于连接在第一腔体与第二腔体之间,该热隔断装置包括本体及隔热机构;本体形成至少一个通道,本体包括第一端面和第二端面,第一端面用于连接至第一腔体,第二端面用于连接至第二腔体,通道在第一端面...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。