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一种平坦度检测装置及方法，该装置包括光源、光束扩展器、基准棱镜、承载台、聚焦透镜、检测器和处理器，光源提供的入射光经光束扩展器转换为平行光束照射至基准棱镜并透过基准棱镜照射至待检测的透明基板，经基准棱镜和透明基板反射分别得到第一反射光和第二...
该专利属于上海传芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海传芯半导体有限公司授权不得商用。

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