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微机电系统(MEMS)换能器包括基板和由基板支撑的一对电极。所述一对电极被配置作为偏置电极‑感测电极对。所述一对电极中的可移动电极被配置为在可移动电极的激励期间在第一方向上振动运动。所述一对电极在垂直于第一方向的第二方向上通过间隙彼此隔开。...
该专利属于桑得斯克里特有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过桑得斯克里特有限责任公司授权不得商用。

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