【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开总体上涉及微机电系统(mems)麦克风。
技术介绍
1、定向麦克风被设计为对沿一个方向传播的声音具有高灵敏度，而对沿另一个方向传播的声音具有低灵敏度。以这种方式，定向麦克风对从某个方向发出的声音具有选择性。当与更多的处理能力结合时，定向性允许声学感测设备基于声源的方向定位和分离声源。
2、传统的定向麦克风对传入声波的压力作出反应。响应于传入声音而移动的换能器或膜片被封装在套件(package)中。膜片将套件分为前部体积和后部体积这两个空气体积。麦克风套件还具有两个声音端口。第一声音端口在第一位置将前部空气体积与外部环境空气耦合。第二声音端口在与第一位置隔开一定距离的第二位置将后部空气体积与外部环境空气耦合。当声波传播通过麦克风时，声波在第一声音端口的位置产生第一局部压力，并在第二声音端口的位置产生第二局部压力。第一压力和第二压力的差异在膜片上施加力并使膜片振动。然后，膜片的振动通过诸如电容式、压电式、光学式或压阻式读出之类的各种换能机制中的一种被转换为电信号。
3、在典型的mems电容式换能器中，固定电极或...
【技术保护点】
1.一种微机电系统MEMS换能器，包括：
2.按照权利要求1所述的MEMS换能器，其中所述一对电极中的固定电极具有悬臂端，该悬臂端翘曲以表现出沿第一方向的静止偏转。
3.按照权利要求1所述的MEMS换能器，其中静止偏转使得所述悬臂端在线性状态下的操作期间不会达到或穿过所述一对电极中的固定电极的中点。
4.按照权利要求1所述的MEMS换能器，其中所述一对电极中的每个电极包括相应的一组梳齿，相应的各组梳齿是以并排排列的方式交错的。
5.按照权利要求1所述的MEMS换能器，其中所述可移动电极包括多孔板。
6.按照权...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种微机电系统mems换能器，包括：
2.按照权利要求1所述的mems换能器，其中所述一对电极中的固定电极具有悬臂端，该悬臂端翘曲以表现出沿第一方向的静止偏转。
3.按照权利要求1所述的mems换能器，其中静止偏转使得所述悬臂端在线性状态下的操作期间不会达到或穿过所述一对电极中的固定电极的中点。
4.按照权利要求1所述的mems换能器，其中所述一对电极中的每个电极包括相应的一组梳齿，相应的各组梳齿是以并排排列的方式交错的。
5.按照权利要求1所述的mems换能器，其中所述可移动电极包括多孔板。
6.按照权利要求1所述的mems换能器，其中所述一对电极中的每个电极包括相应的一组间隔开的横梁，相应的各组间隔开的横梁是以交替排列的方式布置的。
7.按照权利要求1所述的mems换能器，其中静止偏转大于所述可移动电极的振动运动。
8.按照权利要求1所述的mems换能器，其中静止偏转对应于通过在所述一对电极之间施加偏置电压而获得的平衡位置。
9.按照权利要求1所述的mems换能器，还包括由所述基板支撑的导电层，所述导电层被图案化以限定所述一对电极。
10.按照权利要求1所述的mems换能器，其中所述一对电极中的另一个电极在第二方向上充分短于所述可移动电极，使得在所述可移动电极的激励期间，所述另一个电极实际上不能移动。
11.按照权利要求1所述的mems换能器，其中静止偏转大于所述间隙。
12.一种微机电系统mems换能器，包括：
13.按照权利要求12所述的mems换能器，其中所述一对电极中的固定电极具有悬臂端，该悬臂端翘曲以表现出沿第一方向的静止偏转。
14.按照权利要求12所述的mems换能器，其中静止偏转使得所述悬臂端在线性状态下的操作期间不会达到或穿过所述一对电极中的固定电极的中点。
15.按照权利要求12所述的mems换能器，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：WT·苏，M·纳沃茨，M·达埃切恩，S·利希，C·斯塔德尔，S·古普塔，
申请(专利权)人：桑得斯克里特有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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