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本申请提供一种高识别度探针横梁加工装置,涉及半导体加工设备技术领域。所述高识别度探针横梁加工装置,包括X轴导轨、Y轴导轨、移动机构、探针固定模具和研磨平台,所述移动机构设于所述X轴导轨上并可沿所述X轴导轨平移,所述探针固定模具水平固定于所述...该专利属于上海泽丰半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海泽丰半导体科技有限公司授权不得商用。
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