下载一种红光LED外延结构、LED芯片及其制备方法的技术资料

文档序号:40807964

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本发明公开了一种红光LED外延结构、LED芯片及其制备方法,红光LED外延结构具有复合DBR结构,方法包括通过以下步骤制备复合DBR结构:在GaAs‑Si缓冲层上方,生长m组Al<subgt;x</subgt;Ga<sub...
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