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本技术公开了一种半导体芯片平整度检测装置，包括:工作台，移动块，所述移动块的外壁设有调节槽，所述调节槽的内壁安装有锁紧板，所述锁紧板的外壁设有螺纹槽，所述调节槽的内壁活动安装有滑动板，所述滑动板的外壁安装有螺纹杆，所述滑动板的外壁安装有杆体...
该专利属于西安翰源辰芯半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安翰源辰芯半导体技术有限公司授权不得商用。

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