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本申请公开一种微机电系统振荡器，微机电系统振荡器包括控制电路、谐振器和振荡电路；振荡电路包括TIA振荡子电路；TIA振荡子电路分别与谐振器和控制电路电性连接；控制电路用于调节TIA振荡子电路的带宽，以使谐振器的目标频点之频率位于TIA振荡子...
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