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本发明涉及电解质等离子抛光设备技术领域，尤其涉及一种真空器皿内壁电解质等离子抛光装置及抛光方法，该真空器皿内壁电解质等离子抛光装置，包括电解槽和设置在电解槽内的多个阴极棒，所述电解槽还设置有加热管，所述电解槽上设置有抛光机构，所述抛光机构包...
该专利属于浙江安胜科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江安胜科技股份有限公司授权不得商用。

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