下载半导体电路装置和用于半导体电路装置的方法的技术资料

文档序号:40804866

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本发明涉及一种半导体电路装置和一种用于半导体电路装置的方法。半导体电路装置包括衬底、衬底第一区域中的至少两个第一应力敏感元件和衬底第二区域中的至少两个第二应力敏感元件。第一应力敏感元件分别具有依赖于第一区域中的机械应力张量的第一分量和第二分...
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