温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种半导体湿法设备制程工艺去离子水使用控制系统，包括多个工艺池，每一工艺池对外连接有第一管路和第二管路，每一工艺池通过第一管路与废水池连接，各工艺池按照装载的去离子水水质进行等级划分，最高级别工艺池装有最高洁净等级去离子水，最低...
该专利属于紫旸升光电科技（淄博）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过紫旸升光电科技（淄博）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。