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本发明公开了属于微电子机械制造技术领域的应用于微型超级电容器的一种三维结构聚吡咯微电极及其制造方法。该微电极采用ＭＥＭＳ技术在铜基片表面涂制一层ＳＵ－８环氧基负型化学放大胶膜，通过甩胶、前烘、光刻工艺处理、曝光、后烘、显影、漂洗和硬烘工艺，...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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