下载减少芯片机械应力效应的电阻布局方法的技术资料

文档序号:40788309

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本发明涉及一种减少芯片机械应力效应的电阻布局方法,包括在电阻匹配阵列之上覆盖一层或多层金属作为支撑结构;所述支撑结构为金属层次;每个所述支撑结构覆盖一个或多个电阻。引入金属层次均匀叠加覆盖在电阻上面,增强电阻区域的机械韧性,减少应力梯度,对...
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