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本发明涉及半导体附属设备的技术领域，提供一种晶圆映射传感器的安装组件，包括转动支架和驱动组件，转动支架包括第一转臂和第二转臂，第一转臂和第二转臂连接；第一转臂上设置有第一安装部，用以安装传感器的发射端，第二转臂上设置有第二安装部，用以安装传...
该专利属于北京京仪自动化装备技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪自动化装备技术股份有限公司授权不得商用。

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