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本发明涉及一种用于大尺寸单晶硅晶圆抗腐蚀液体蜡，按照重量份计算，包括如下组分：低极性溶剂10‑40份；两性溶剂10‑30份；增粘树脂10‑40份；高分子量粘结树脂0.1‑5份；分散剂0.5‑5份；电荷稳定剂0.05‑0.5份。本发明还公开了...
该专利属于江苏奥首材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏奥首材料科技有限公司授权不得商用。

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