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本申请涉及一种射频网络匹配调节方法、装置及射频离子源系统，所述方法包括：依次对第一电容和第二电容进行快速调节，直至射频网络匹配器实时采集的第一阻抗值达到匹配范围值内；在匹配范围值内，以交叉调节方式并根据设定的步进值分别对第一电容和第二电容进...
该专利属于中山市博顿光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山市博顿光电科技有限公司授权不得商用。

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