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本申请涉及一种芯片表面高度测量方法、装置、设备及存储介质，应用在半导体技术领域，包括控制所述激光发射单元在预设的角度下发射激光线到芯片所在位置；控制所述图像获取单元采集芯片图像信息，所述芯片图像信息包括激光线图像；选取所述激光线图像中的激光...
该专利属于伊瑟半导体科技(江苏)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过伊瑟半导体科技(江苏)股份有限公司授权不得商用。

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