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本发明公开了一种可旋转双面靶材真空镀膜装置，包括旋转筒、靶门框、旋转组件以及中频电源；旋转筒可旋转地连接至靶门框的内部；旋转组件连接至靶门框；旋转组件与旋转筒传动连接；旋转筒的顶端和底端均设置有溅射阴极组件；各溅射阴极组件上均贴合设置有靶材...
该专利属于广东谛思纳为新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东谛思纳为新材料科技有限公司授权不得商用。

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