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一种垂直腔面发射激光器(VCSEL)及其制作方法、VCSEL阵列及光发射装置，包括：衬底，形成于衬底上的第一反射镜、有源区和第二反射镜，以及复合光栅；有源区位于第一反射镜和第二反射镜之间，复合光栅包括形成于第一材料层内的光栅结构以及形成于光...
该专利属于浙江老鹰半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江老鹰半导体技术有限公司授权不得商用。

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