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本申请涉及晶圆检测技术领域,公开了一种晶圆检测平台，晶圆检测平台包括平台底座、物料储存模组、取料模组、物料校准模组以及物料检测模组；物料储存模组、取料模组、物料校准模组以及物料检测模组设于平台底座；其中，物料储存模组内设有物料储存空间，用于...
该专利属于深圳市汉诺精密科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市汉诺精密科技有限公司授权不得商用。

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