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本发明涉及一种将原子物种注入到压电衬底中的方法，该方法包含以下步骤：I)提供包括压电部分(112、210、310)和导电部分(122、320)的衬底(100、200、300)；III)将具有导电部分(122、320)的衬底(100、200、...
该专利属于索泰克公司所有，仅供学习研究参考，未经过索泰克公司授权不得商用。

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