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本发明属于基板干燥技术领域，具体公开了一种基板干燥装置以及基板清洗干燥设备。基板在干燥时，液膜厚度会变薄，通过膜厚计检测液膜厚度并反馈至控制终端，操作人员于控制终端处调节伸缩部的伸缩程度或控制终端自身调节伸缩部程度、以调整基板与导流板之间的...
该专利属于北京晶亦精微科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京晶亦精微科技股份有限公司授权不得商用。

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