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本申请案的实施例涉及二氧化硅厚层的沉积。提供一种通过等离子体增强化学气相沉积PECVD将二氧化硅沉积到衬底上的方法、一种上面沉积有至少一个二氧化硅层的衬底以及一种用于通过等离子体增强化学气相沉积将二氧化硅沉积到衬底上的等离子体增强化学气相沉...
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