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本公开提供了一种晶圆表面缺陷的检测方法、装置及存储介质；该检测方法可以包括：在待测晶圆表面构建的极坐标系下，获取能够覆盖所述待测晶圆的过渡区域部分和所述待测晶圆表面的边缘部分的采样区域；在所述采样区域中获取检测点；根据所述检测点的坐标生成模...
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