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本申请实施例公开了一种金属有机物化学气相沉积设备的复机方法，包括：对所述金属有机物化学气相沉积设备的反应腔进行第一预处理，以对所述反应腔内的杂质进行清扫；向所述反应腔内通入铝源，对所述反应腔进行第二预处理，并在所述反应腔的内壁形成环境恢复层...
该专利属于江西乾照光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西乾照光电有限公司授权不得商用。

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