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本发明提供一种加热单元、包括其的基板处理装置以及基板处理设备。可以是，加热单元包括：加热板，设置在加热空间内，并用于以支承基板的状态加热基板；以及固定部，用于固定所述加热板的位置，所述固定部包括：多个固定部件，沿着所述加热板的周缘以一定间隔...
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