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本公开的实施例提供一种多种气体检测的阵列芯片及制备方法，包括：芯片包括硅透镜阵列结构、芯片本体和谐振腔式阵列结构；硅透镜阵列结构包括硅基底和若干滤光片；硅基底具有相对的第一表面和第二表面，第一表面形成有透镜阵列；硅基底的第二表面设置有滤光片...
该专利属于无锡芯感智半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡芯感智半导体有限公司授权不得商用。

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