一种多种气体检测的阵列芯片及制备方法技术

本公开的实施例提供一种多种气体检测的阵列芯片及制备方法，包括：芯片包括硅透镜阵列结构、芯片本体和谐振腔式阵列结构；硅透镜阵列结构包括硅基底和若干滤光片；硅基底具有相对的第一表面和第二表面，第一表面形成有透镜阵列；硅基底的第二表面设置有滤光片；透镜与滤光片的位置对应设置；硅基底的第一表面与芯片本体上表面集成连接；其中，透镜与芯片本体的中心热端的位置相对应；谐振腔式阵列结构设置于芯片本体的下表面；谐振腔式阵列结构形成有不同深度的凹坑阵列；芯片本体的衬底形成有背腔，背腔与芯片本体的中心热端位置相对应；其中，凹坑表面设有反射层；凹坑与背腔对应设置，且凹坑与背腔共同构成谐振腔。

【技术实现步骤摘要】

本公开的实施例属于气体传感器，具体涉及一种多种气体检测的阵列芯片及制备方法。

技术介绍

1、非分散红外(ndir)气体传感器是一种利用红外线吸收原理，通过检测环境空气中特定气体分子对特定波长的红外辐射的吸收来实现气体成分检测的一种传感器。ndir气体传感器主要由光源、样品室、光谱滤波器、探测器等组成。传感器将环境空气通过样品室，样品室中经过红外光源照射的气体分子会对特定波长的红外辐射进行吸收，被吸收的红外辐射量与气体浓度成正比。随后，传感器使用光谱滤波器选择出感兴趣波长，使其只能到达探测器。探测器可以测量到被吸收的红外辐射强度，进而反映出气体浓度值。

2、ndir红外气体传感器是利用不同气体具有自己独特的分子结构，对红外光具有特定吸收谱这一特性来实现的，也即是不同的气体对某一特定波段的红外光具有吸收能力。而这个特定波段红外光就称为该气体的红外吸收峰，不同的气体的红外吸收峰是不一样的，即使在混合气体环境中各气体之间的红外吸收也不会相互干扰。这种性质不会因外界条件的改变而改变，某一待测气体吸收的能量大小与该气体在红外光区内的浓度有关，浓度越大吸收能本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多种气体检测的阵列芯片，其特征在于，所述芯片包括硅透镜阵列结构、芯片本体和谐振腔式阵列结构；所述硅透镜阵列结构包括硅基底和若干滤光片；所述硅基底具有相对的第一表面和第二表面，所述第一表面形成有透镜阵列；所述硅基底的第二表面设置有所述滤光片；所述透镜与所述滤光片的位置对应设置；

2.根据权利要求1所述的芯片，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的芯片，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的芯片，其特征在于，

5.根据权利要求3所述的芯片，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的芯片，其特征在于，

<p>7.根据权利要求...

【技术特征摘要】

1.一种多种气体检测的阵列芯片，其特征在于，所述芯片包括硅透镜阵列结构、芯片本体和谐振腔式阵列结构；所述硅透镜阵列结构包括硅基底和若干滤光片；所述硅基底具有相对的第一表面和第二表面，所述第一表面形成有透镜阵列；所述硅基底的第二表面设置有所述滤光片；所述透镜与所述滤光片的位置对应设置；

2.根据权利要求1所述的芯片，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的芯片，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的芯片，...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨绍松，刘同庆，
申请(专利权)人：无锡芯感智半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：